학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2011.2, [ viii, 82 p. ]
동적 해석; 위치 오차 보정; 유연 기구; 스테이지; 높은 구조 강성; High structure stiffness; Dynamics analysis; Position error calibration; Flexure joint; H type stage
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