매엽식 웨이퍼 자동선별라인의 RGV 기반 운송시스템 운용전략 및 디자인

Abstract

최근 반도체 웨이퍼 제조라인에서는 웨이퍼의 사이즈가 300mm 또는 450mm로 증가하면서 재공재고 및 사이클타임을 단축하기 위해 매엽식 (Single-Wafer Pro -cessing) 또는 미니뱃치 (Mini-Batch) 공정 장비의 사용과 장비간 웨이퍼 이동을 위해 중간버퍼를 거치지 않는 직배송 운송 시스템이 확대되는 추세에 있다. 매엽식 공정 장비의 사용과 직배송 운송 시스템으로 인해 물류 운송요청 처리가 중요해지고 이를 위해 고속, 고 신뢰성, 고 청정의 새로운 웨이퍼 반송시스템이 요구되고 있다. 이에 무접촉식 RGV (Rail Guided Vehicle)를 사용한 반송시스템이 유망한 대안으로 검토되고 있다. EDS (Electrical Die Sorting) 라인은 RGV 기반의 매엽식 반도체 웨이퍼 검사라인으로 차세대 반도체 웨이퍼 제조라인의 특성을 반영하고 있다. EDS 라인에서는 많은 양의 운송요청을 효과적으로 처리하기 위해 RGV의 운용과 구성이 중요한 역할을 한다. 본 연구에서는 EDS 라인에서 RGV를 기반으로 하는 매엽식 반도체 제조시스템의 디자인 및 운용전략을 제안한다. 또한 이들 전략과 디자인들 간의 운송처리 성능을 시뮬레이션을 통해 분석한다.