램프 가열 방식을 이용한 LPCVD 시스템의 설계 및 제작과 폴리 실리콘 증착Design and implementation of lamp-heated LPCVD system and poly-Si deposition
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김충기 | - |
| dc.contributor.advisor | Kim, Choong-Ki | - |
| dc.contributor.author | 하용민 | - |
| dc.contributor.author | Ha, Yong-Min | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-14T02:14:50Z | - |
| dc.date.available | 2011-12-14T02:14:50Z | - |
| dc.date.issued | 1990 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=67387&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/39176 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기 및 전자공학과, 1990.2, [ iii, 55 p. ] | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.title | 램프 가열 방식을 이용한 LPCVD 시스템의 설계 및 제작과 폴리 실리콘 증착 | - |
| dc.title.alternative | Design and implementation of lamp-heated LPCVD system and poly-Si deposition | - |
| dc.type | Thesis(Master) | - |
| dc.identifier.CNRN | 67387/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 전기 및 전자공학과, | - |
| dc.identifier.uid | 000881524 | - |
| dc.contributor.localauthor | 김충기 | - |
| dc.contributor.localauthor | Kim, Choong-Ki | - |
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- EE-Theses_Master(석사논문)
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