활성영역이 유리 기판 내에 매몰된 새로운 구조의 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 = Novel TFT with active layer buried in glass substrate

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Advisors
김충기한철희Kim, Choong-KiHan, Chul-Hi
Description
한국과학기술원 : 전기 및 전자공학과,
Publisher
한국과학기술원
Issue Date
1996
Identifier
106013/325007 / 000943569
Language
kor
Description

학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기 및 전자공학과, 1996.2, [ iv, 56 p. ]

Keywords

화학-기계적 연마; 다결정실리콘; Buried island thin film transistor(BITFT); Chemical mechanical polishing(CMP); 매몰 박막 트랜지스터; Polycrystalline silicon

URI
http://hdl.handle.net/10203/36852
Link
http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=106013&flag=dissertation
Appears in Collection
EE-Theses_Master(석사논문)
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