가변임계미소스위치및그제조방법

Abstract

단일 스위치 내에서 전극간 접속 혹은 정전 용량 급속변화에 필요한 가속도 또는 전압의 임계치를 전기적으로 조절할 수 있으며, 양방향 스위치 임계치를 각각 독립적으로 조절할 수 있는 가변 임계 미소 스위치를 제공할 목적으로; 실리콘 기판으로 이루어지며, 그 길이방향 중앙부의 상하부가 소정의 폭을 갖고 요입되어, 단면에서 볼 때 중앙부분이 소 두께부로 이루어지고, 그 양측 부분이 대 두께부로 이루어지며, 그 중앙부에 장방형의 공간부가 형성되는 베이스 플레이트와; 상기 베이스 플레이트의 공간부 하측을 제외한 부분에 2중으로 도포되며, 상기 공간부의 상측부에는 길이방향 양측이 절취되어 양단 고정보가 되도록 형성되는 내,외측 박막층과; 상기 양단 고정보의 중간부에 부착되어 현수되는 질량체와; 상기 양단 고정보와 질량체의 하측으로 형성되는 상,하부 전극과; 상기 베이스 플레이트의 양 대폭부 상하면에 형성되는 접착부 상,하부 전극과; 일면으로 띠상의 전극이 형성되어 이의 전극이 양단 고정보와 직교되는 방향에서 베이스 플레이트의 상하면에 부착되는 상,하부 유리를 포함하여 이루어지는 가변 임계 미소 스위치를 제공한다.