마이크로렌즈가형성된광집적소자및그의제조방법

Abstract

본 발명은 마이크로렌즈가 형성된 광집적 소자 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로 단거리 광통신에서의 광의 송신단이나 수신단, 각종 광표시소자, 고감도 광검출소자 및 고속 발광다이오드 프린터 등의 주요부분으로 사용할 수 있는 마이크로렌즈가 형성된 광집적 소자와 그의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면 리지높이가 과도하게 높지 않으면서도 균일한 높이의 형성이 가능하여 다른 소자와 결합이 용이하면서도 배열화가 쉬운 마이크로렌즈를 갖는 광집적소자를 제조할 수 있으며, 본 발명의 광집적소자는 고속 발광다이오드 프린터, 단거리 광통신에서의 광 송수신단, 각종 광표시소자 및 고감도 광검출소자 등에 광범위하게 활용될 수 있다.