광도파로제작방법및구조OPTICAL WAVEGUIDE
광도파로 패턴이 형성된 기판과 상기 광도파로 패턴상에 형성된 자기정렬된 유전체 클래딩을 갖는 구조로 되며, 상기 광도파로 패턴은 기판의 상면에 마스크 채널패턴을 형성하고 저온에서 양자교환 시킨 후 포토레지스트를 입히고 기판의 아랫면에 노출을 주어 감광시켜서 상기 양자교환에 사용한 마스크를 그대로 사용하여 포토레지스트를 현상하는 것에 의해 형성되고, 상기 유전체 클래딩은 광도파로 패턴이 양자 확산될 때 양자의 외부확산을 억제하고 내부확산을 촉진하는 마스크역할을 하는 것을 특징으로 하는 양자확산형 광도파로의 제작방법
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 1989-08-10
- Application Number
- 10-1989-0011376
- Registration Date
- 1992-12-21
- Registration Number
- 10-0057497-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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