마이크로 볼로미터에서 필 팩터를 높이기 위한 픽셀 디자인DESIGN OF PIXEL FOR MORE HIGHER FILL FACTOR WHEREIN MICROBOLOMETER
본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 볼로미터에서 필 팩터를 높이기 위한 픽셀 디자인은, 기판 상부의 반사 금속층을 포함하는 하부층; 상기 하부층 상부의 공동; 상기 공동 상부의 볼로미터층과 그 위의 투과 금속층을 포함하는 상부층; 상기 하부층 및 상기 상부층의 절연을 위한 절연층; 및 상기 상부층을 지지하는 앵커를 포함하는 각 볼로미터 픽셀들의 배열로 이루어진 볼로미터 어레이에 있어서, 상기 볼로미터 픽셀 네 개가 상기 앵커 하나를 공유하는 것을 특징으로 한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2011-01-10
- Application Number
- 10-2011-0002456
- Registration Date
- 2012-09-03
- Registration Number
- 10-1180647-0000
- Appears in Collection
- RIMS Patents
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