마이크로 슈퍼 커패시터 소자의 제조방법

Abstract

본 발명은 마이크로 슈퍼 커패시터 소자의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전극간 간격을 나노미터 단위로 정밀하게 패터닝할 수 있는 마이크로 슈퍼 커패시터 소자의 제조방법에 관한 것이다. 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은 a) 맥신(MXene) 및 탄소나노튜브(CNT)로 이루어진 나노복합체가 제조되는 단계; b) 상기 나노복합체를 이용하여 박막필름을 형성하는 단계; c) 상기 박막필름에 전극을 형성하는 단계; 및 d) 상기 전극이 형성된 박막필름이 패터닝되어 마이크로 슈퍼 커패시터가 제조되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 슈퍼 커패시터 소자의 제조방법을 제공한다.