진공 센서 및 진공 센서 제조 방법VACUUM SENSOR AND VACUUM SENSOR MANUFACTURING METHOD
본 발명의 일 실시예에 따른 진공 센서는 기판, 상기 기판상에 형성되고, 표면적을 넓히는 다수의 미세 기공을 포함하는 산화막, 상기 산화막상에 형성된 저항체 및 상기 기판과 상기 산화막 사이에 형성된 캐비티를 포함할 수 있다.본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 센서 제조 방법은 기판상에 산화물질을 형성하는 단계, 상기 산화물질에 양극 산화를 수행하여 표면적을 넓히는 다수의 미세 기공을 포함하는 산화막을 형성하는 단계, 상기 산화막상에 저항체를 형성하는 단계 및 상기 기판과 상기 산화막 사이에 캐비티를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2018-01-08
- Application Number
- 10-2018-0002264
- Registration Date
- 2020-01-14
- Registration Number
- 10-2068168-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.