실리콘 전기접속 기판 및 그 제조방법Silicon electric connection substrate and method of fabricating the same
본 발명은 실리콘을 포함하는 기판을 준비하는 단계; 상기 실리콘을 포함하는 기판의 상면으로부터 하방으로 복수의 트렌치를 형성하는 단계; 및 상기 복수의 트렌치를 가지는 상기 실리콘을 포함하는 기판을 열산화 처리함으로써, 상기 실리콘을 포함하는 기판의 노출면에 열산화막(thermal oxidation layer)이 형성되면서 동시에 상기 복수의 트렌치의 공간까지 메우는, 절연패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 실리콘 전기접속 기판의 제조방법을 제공한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2018-03-30
- Application Number
- 10-2018-0037704
- Registration Date
- 2019-11-04
- Registration Number
- 10-2042818-0000
- Appears in Collection
- RIMS Patents
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.