저방사 유기 기상 젯프린팅 방법 및 장치METHOD AND APPARATUS FOR ORGANIC VAPOR JET PRINTING OF LOW RADIATION
저방사 유기 기상 젯프린팅 방법 및 장치가 제시된다. 일 실시예에 따른 저방사 유기 기상 젯프린팅 장치는, 유기물을 가열하여 기화시키며 수송 기체를 공급 받아 기화된 상기 유기물과 함께 이송시키는 소스 챔버부; 및 상기 소스 챔버부로부터 기화된 상기 유기물 및 상기 수송 기체를 공급 받아 분사구를 통해 토출시키는 노즐부를 포함하고, 상기 노즐부의 적어도 일부는 저방사율 물질로 코팅되어 상기 기판에 가해지는 열 부하를 감소시키는 저방사 코팅부를 포함하여 이루어질 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2019-09-25
- Application Date
- 2017-12-01
- Application Number
- 10-2017-0163939
- Registration Date
- 2019-09-25
- Registration Number
- 10-2027655-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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