액체를 이용하여 박막을 전사시키기 위한 방법METHOD FOR TRANSFERRING THIN FILMS USING LIQUID
본 발명에 의한 액체를 이용하여 박막을 전사시키기 위한 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 전사 방법은 기판 위에 형성된 박막에 접착제를 도포하는 접착제 도포단계; 상기 도포된 접착제 위에 타겟 기판을 부착하는 타겟 기판 부착단계; 상기 타겟 기판이 부착된 상기 기판을, 상기 기판, 상기 박막, 상기 접착제 및 상기 타겟 기판을 손상시키지 않는 액체 속에 담그는 박리 준비단계; 및 기계적인 외력을 가해 상기 액체 속에 담겨진 상기 기판으로부터 상기 박막을 물리적으로 분리시켜 상기 타겟 기판에 전사시키는 박막 전사단계;를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2019-09-25
- Application Date
- 2017-08-07
- Application Number
- 10-2017-0099515
- Registration Date
- 2019-09-25
- Registration Number
- 10-2027529-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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