박막의 열기계적 물성을 측정하기 위한 장치 및 그 방법

Abstract

본 발명에 의한 박막의 열기계적 물성을 측정하기 위한 장치 및 그 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막의 열기계적 물성을 측정하기 위한 장치는 내부에 소정의 액체를 수용하고 그 표면에 파티클이 패터닝된 박막이 상기 액체의 표면에 띄워지는 용기; 상기 용기 내부의 액체를 가열하는 가열부; 상기 액체의 표면에 띄워진 박막을 서로 다른 촬영 위치에서 촬영하여 한 쌍의 이미지를 획득하는 촬영부; 및 상기 가열부에 의해 가열되는 액체의 온도 변화에 따라 상기 촬영부에 의해 획득된 한 쌍의 이미지로부터 상기 박막의 깊이값과 상기 박막의 표면에 패터닝된 파티클 간의 거리 변화율을 구하고, 상기 깊이값과 상기 거리 변화율을 기초로 상기 박막의 열팽창 계수와 유리전이 온도를 산출하는 제어부를 포함한다. 상기 파티클이 패터닝된 박막은 상기 박막 위에 소량의 파티클을 얹은 후 바람을 불어 물리적 흡착이 이루어지지 않은 상기 파티클들을 제거하고, 물리적 흡착이 이루어진 상기 파티클로 형성된다. 상기 제어부는 상기 촬영부에 의해 획득된 한 쌍의 이미지마다 상기 박막의 깊이값과 상기 박막의 표면에 패터닝된 파티클 간의 거리를 구하고, 상기 구한 깊이값에 따라 상기 박막의 표면에 패터닝된 파티클 간의 거리를 보정하며, 상기 보정된 거리와 미리 설정한 기준 거리를 이용하여 상기 박막의 표면에 패터닝된 파티클 간의 상기 거리 변화율을 구한다.