나노몰드 및 그 제조방법NANO MOLD AND METHOD OF FABRICATING THEREOF

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dc.contributor.author나노종합기술원ko
dc.contributor.author이병주ko
dc.contributor.author임부택ko
dc.contributor.author배희경ko
dc.date.accessioned2019-05-09T06:10:34Z-
dc.date.available2019-05-09T06:10:34Z-
dc.date.issued2019-05-03-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/261811-
dc.description.abstract본 발명은 나노몰드 제조방법에 관한 것으로, 실리콘 웨이퍼 위에 BARC와 감광막을 도포 후 포토리소그래피 공정으로 감광막 패턴을 형성하는 단계; 전체표면 상부에 금속층을 증착하여 전기도금 씨드층을 형성하는 단계; 상기 전기도금 씨드층 상에 전기도금층을 형성하는 단계; 및 상기 BARC과 감광막 패턴을 제거하여 실리콘 웨이퍼를 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.-
dc.title나노몰드 및 그 제조방법-
dc.title.alternativeNANO MOLD AND METHOD OF FABRICATING THEREOF-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.nonIdAuthor이병주-
dc.contributor.nonIdAuthor임부택-
dc.contributor.nonIdAuthor배희경-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2017-0064083-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-1977122-0000-
dc.date.application2017-05-24-
dc.date.registration2019-05-03-
dc.publisher.countryKO-
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RIMS Patents
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