나노몰드 및 그 제조방법 NANO MOLD AND METHOD OF FABRICATING THEREOF

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본 발명은 나노몰드 제조방법에 관한 것으로, 실리콘 웨이퍼 위에 BARC와 감광막을 도포 후 포토리소그래피 공정으로 감광막 패턴을 형성하는 단계; 전체표면 상부에 금속층을 증착하여 전기도금 씨드층을 형성하는 단계; 상기 전기도금 씨드층 상에 전기도금층을 형성하는 단계; 및 상기 BARC과 감광막 패턴을 제거하여 실리콘 웨이퍼를 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Application Date
2017-05-24
Application Number
10-2017-0064083
Registration Date
2019-05-03
Registration Number
10-1977122-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/261811
Appears in Collection
RIMS Patents
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