나노몰드 및 그 제조방법NANO MOLD AND METHOD OF FABRICATING THEREOF
본 발명은 나노몰드 제조방법에 관한 것으로, 실리콘 웨이퍼 위에 BARC와 감광막을 도포 후 포토리소그래피 공정으로 감광막 패턴을 형성하는 단계; 전체표면 상부에 금속층을 증착하여 전기도금 씨드층을 형성하는 단계; 상기 전기도금 씨드층 상에 전기도금층을 형성하는 단계; 및 상기 BARC과 감광막 패턴을 제거하여 실리콘 웨이퍼를 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2019-05-03
- Application Date
- 2017-05-24
- Application Number
- 10-2017-0064083
- Registration Date
- 2019-05-03
- Registration Number
- 10-1977122-0000
- Appears in Collection
- RIMS Patents
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.