플렉서블 약물 전달 소자 제조방법 및 플렉서블 약물 전달 소자Method for manufacturing a flexible drug delivery device and the flexible drug delivery device manufactured by the same
투명 기판 전면 상에 비정질 실리콘층을 적층하는 단계; 상기 비정질 실리콘층 상에 버퍼층을 적층하는 단계; 상기 버퍼층 상에 전극 패턴을 형성하는 단계; 상기 전극 패턴 상에 약물이 수용되는 약물 웰을 형성하는 단계; 상기 약물 웰 상에 플라스틱 기판을 접착시키는 단계; 상기 투명 기판 후면에 레이저를 조사하여, 상기 비정질 실리콘층과 상기 버퍼층을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 플렉서블 약물 전달 소자 제조방법이 제공된다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2019-04-03
- Application Date
- 2014-04-22
- Application Number
- 10-2014-0047872
- Registration Date
- 2019-04-03
- Registration Number
- 10-1967133-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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