음향열적 미소가열 장치 및 이를 이용한 가열 제어 방법

Abstract

본 발명은 음향열적 미소가열 장치 및 에 관한 것으로서 음향열적 미소가열 장치 및 이를 이용한 가열 제어 방법에 관한 것으로서, 피에조 기판 상에 형성된 IDT(Interdigital Tansducer)전극을 통해 기설정된 표면탄성파를 발생시켜 피에조 기판 상측에 적층 형성된 점탄성 물질로 이루어지는 가열체를 발열시키도록 구성함으로써 상기 가열체으로 내부 유체 채널이 형성된 유체칩 역할을 수행하도록 함으로써 기존의 마이크로 유동 시스템을 그대로 사용하기 때문에 제작시 아무런 추가 공정 없이도 쉽게 제작이 가능하고, 투명하며 샘플 체적을 빠르고 정교하고 균일하게 비침습적으로 가열할 수 있으며, 접촉식이어서 유체 샘플 특성에 구애 받지 않고 유체 샘플 내에 난류를 일으켜 혼합을 촉진시킬 수 있고, 균일한 온도 분포를 가질 수 있으며, 2차원 평면 위에서 마이크로미터 크기의 픽셀 단위로 온도를 자유자재로 조절할 수 있어 차세대 핵산 증폭기 개발 및 랩온어칩 시스템 (Lab-On-A-Chip System)의 혁신에 크게 기여할 수 있는 효과를 갖는다. 또한, 가열체 상측에 내부 유체 채널이 형성된 유체칩을 일회 사용 후 교체 가능한 형태로 마이크로 유동 시스템을 구성할 수 있고 유체칩을 가열체와 동일 점탄성 물질 이외의 좀더 다양한 종류의 재질을 적용할 수 있는 효과를 갖는다.