금속의 선택적 전사 및 무전해 도금을 이용한 금속 나노 패턴 및 그 제작 방법METAL NANO PATTERN VIA SELECTIVE METAL TRANSFER AND ELECTROLESS PLATING AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
일실시예에 따르면, 금속의 선택적 전사 및 무전해 도금을 이용한 금속 나노 패턴 형성 방법은 금속 물질이 코팅된 나노 요철 패턴을 포함하는 기판을 준비하는 단계; 상기 나노 요철 패턴 중 돌출부에 코팅된 금속 물질이 제거되고 만입부에 코팅된 금속 물질 중 적어도 일부가 잔여하도록 상기 금속 물질에 대한 선택적 전사를 수행하는 단계; 및 상기 나노 요철 패턴 중 만입부에 코팅된 금속 물질 중 적어도 일부를 성장의 핵으로 사용하는 무전해 도금을 수행하여, 상기 기판에 금속 나노 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2018-02-22
- Application Date
- 2016-11-24
- Application Number
- 10-2016-0157461
- Registration Date
- 2018-02-22
- Registration Number
- 10-1833643-0000
- Appears in Collection
- EEW-Patent(특허)
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