레이저 빔을 타겟 스트럭처에 조사하고, 레이저 빔에 의해 생성되는 초음파 신호를 이용하여 타겟 스트럭처의 손상을 검출하는 손상 검출 장치의 손상 검출 방법은 타겟 스트럭처의 복수의 검사 라인들 중 타겟 라인을 선택하고, 타겟 라인을 복수의 블록 그룹들로 나누고 블록 그룹들 중 손상된 영역을 포함하는 손상 블록 그룹을 검색하는 제1 스캐닝 동작을 수행하며, 손상 블록 그룹에 대해 이진 탐색 방식으로 경계 손상 블록들을 검색하는 제2 스캐닝 동작을 수행하고, 경계 손상 블록들에 기초하여 타겟 스트럭처의 손상 블록을 검출한다.