금속의 균일 성장 및 식각의 기학적 비가역성을 이용한 임베디드 금속 나노구조 및 그 제작 방법EMBEDDED METAL NANOSTRUCTURE USING GEOMETRICAL IRREVERSIBILITY OF CONFORMAL DEPOSITION AND UNIFORM GROWTH OF METAL, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
본 발명은 무전해 도금을 통해 기판 상에 금속 물질을 도포하고, 식각을 통한 금속 박막의 일부를 제거하여 기판에 임베디드된 형태의 금속 나노구조를 형성하는 금속의 균일 성장 및 식각의 기학적 비가역성을 이용한 임베디드 금속 나노구조 및 그 제작 방법에 관한 것으로, 종래의 리소그래피 공정을 개선시킨 기술을 제공할 수 있다.