레이저의 반복률을 제어하는 안정화 방법 및 이를 수행하는 장치가 개시된다. 일 실시예에 따른 안정화 장치는 제1 레이저로부터 출력된 제1 레이저 펄스를 제1 주파수 신호로 변환하여 출력하는 제1 광 검출기와, 제2 레이저로부터 출력된 제2 레이저 펄스를 제2 주파수 신호로 변환하여 출력하는 제2 광 검출기와, 상기 제1 주파수 신호 및 상기 제2 주파수 신호를 혼합하여 제3 주파수 신호를 출력하는 제1 주파수 혼합기와, 상기 제3 주파수 신호에 기초하여 상기 제2 레이저 펄스의 반복률을 제어하는 컨트롤러를 포함한다.