광학 현미경 장치 및 시편의 영상 측정 방법 OPTICAL MICORSCOPY DEVICE AND METHOD OF MEASURING THE IMAGE OF A SPECIMEN

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일 실시예에 따른 광학 현미경 장치는, 빛을 방출하는 레이저 광원, 상기 레이저 광원의 일 측에 형성되어 상기 빛을 반사 시키는 미소 반사 표시기, 상기 미소 반사 표시기에서 반사된 빛을 시편에 주사하는 대물 렌즈 및 상기 시편에서 반사된 빛을 검출하는 광 검출부를 포함한다. 상기 미소 반사 표시기는 스캐닝 영역 내에 구비된 복수 개의 미소 거울들을 포함하고, 상기 스캐닝 영역의 일부 미소 거울들로 구성된 제1 미소 거울 그룹은 시편을 향하고, 나머지 미소 거울들로 구성된 제2 미소 거울 그룹은 상기 제1 미소 거울 그룹과 다른 방향을 향한다. 광학 현미경 장치는, 상기 제1 미소 거울 그룹에서 반사된 빛을 통하여 시편의 공초점 영상을 획득하고, 상기 제2 미소 거울 그룹에서 반사된 빛을 통하여 시편의 비공초점 영상을 획득할 수 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2018-10-05
Application Date
2017-04-12
Application Number
10-2017-0047399
Registration Date
2018-10-05
Registration Number
10-1907782-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/255211
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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