광학 현미경 장치 및 시편의 영상 측정 방법

Abstract

일 실시예에 따른 광학 현미경 장치는, 빛을 방출하는 레이저 광원, 상기 레이저 광원의 일 측에 형성되어 상기 빛을 반사 시키는 미소 반사 표시기, 상기 미소 반사 표시기에서 반사된 빛을 시편에 주사하는 대물 렌즈 및 상기 시편에서 반사된 빛을 검출하는 광 검출부를 포함한다. 상기 미소 반사 표시기는 스캐닝 영역 내에 구비된 복수 개의 미소 거울들을 포함하고, 상기 스캐닝 영역의 일부 미소 거울들로 구성된 제1 미소 거울 그룹은 시편을 향하고, 나머지 미소 거울들로 구성된 제2 미소 거울 그룹은 상기 제1 미소 거울 그룹과 다른 방향을 향한다. 광학 현미경 장치는, 상기 제1 미소 거울 그룹에서 반사된 빛을 통하여 시편의 공초점 영상을 획득하고, 상기 제2 미소 거울 그룹에서 반사된 빛을 통하여 시편의 비공초점 영상을 획득할 수 있다.