가스 센서 및 그 제조방법Gas sensor and method of fabricating the same
본 발명은 기판; 기판 상에 형성되되 개구부를 포함하는 절연층; 일단부가 상기 절연층으로 각각 덮이고 타단부가 상기 개구부에서 각각 노출되되, 상기 개구부에서 서로 이격되는, 한 쌍의 제 1 전극 패턴; 상기 한 쌍의 제 1 전극 패턴과 상기 기판 사이에 개재되되 상기 절연층 내에 매립되어 배치된 제 2 전극 패턴; 및 상기 한 쌍의 제 1 전극 패턴 사이의 이격 영역을 메우도록 형성된, CNT 구조체;를 포함하는 가스 센서를 제공한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2018-11-28
- Application Date
- 2017-04-20
- Application Number
- 10-2017-0050778
- Registration Date
- 2018-11-28
- Registration Number
- 10-1925000-0000
- Appears in Collection
- RIMS Patents
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