회전 방식을 이용한 박막 코팅 방법 및 박막 코팅 장치(THE METHOD OF COATING A THIN FILM USING ROLLING SCHEME AND THE APPARATUS FOR COATING A THIN FILM USING THE SAME) THE METHOD OF COATING A THIN FILM USING ROLLING SCHEME AND THE APPARATUS FOR COATING A THIN FILM USING THE SAME

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회전 방식을 이용한 박막 코팅 방법 및 박막 코팅 장치가 제공된다. 상기 박막 코팅 방법은, 액상 물질 상에 박막 물질을 플로팅(floating)하는 플로팅 단계, 원통형 기판을 상기 박막 물질에 접촉시킨 후, 상기 원통형 기판을 회전하는 회전 단계, 및 상기 원통형 기판의 표면과 상기 박막 물질 사이에 작용하는 인력(attraction force)을 이용하여 상기 박막 물질을 상기 원통형 기판의 표면 상에 코팅하는 코팅 단계를 포함한다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Application Date
2016-09-22
Application Number
10-2016-0121417
Registration Date
2017-07-25
Registration Number
10-1763166-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/254660
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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