실크 피브로인과 호환되는 하드 마스크와 이의 식각액을 이용한 패터닝 방법PATTERNING METHOD USING HARDMASKS AND THEIR ETCHANTS COMPATIBLE WITH SILK FIBROIN
실크 피브로인과 호환되는 식각액을 이용한 패터닝 방법이 개시된다. 일 실시예에 따른 박막 패터닝 방법은, 기판 상에 실크 피브로인 박막을 형성하는 단계와, 상기 실크 피브로인 박막 상에 금속 박막을 형성하는 단계와, 상기 실크 피브로인 박막과 호환되는 식각액을 이용하여 상기 금속 박막을 패터닝함으로써 금속 박막 패턴을 생성하는 단계와, 상기 금속 박막 패턴에 기초하여 상기 실크 피브로인 박막을 식각하는 단계와, 상기 식각액을 이용하여 상기 금속 박막을 식각하는 단계를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2019-01-22
- Application Date
- 2018-03-14
- Application Number
- 10-2018-0029525
- Registration Date
- 2019-01-22
- Registration Number
- 10-1943262-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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