DSpace at KOASAS: 점착 문제 없이 낮은 동작 전압을 가지는 MEMS 스위치를 만들기 위해 제작이 완료된 후 상/하판 사이 간격을 줄이는 영구 변형 방법에 대한 연구

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College of Engineering(공과대학)School of Electrical Engineering(전기및전자공학부)EE-Conference Papers(학술회의논문)

점착 문제 없이 낮은 동작 전압을 가지는 MEMS 스위치를 만들기 위해 제작이 완료된 후 상/하판 사이 간격을 줄이는 영구 변형 방법에 대한 연구

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윤용훈 / 김수본 / 윤건욱 / 윤준보 researcher

Publisher: 마이크로나노시스템학회

Issue Date: 2018-04-06

Language: Korean

Citation: 제 20회 한국MEMS학술대회

URI: http://hdl.handle.net/10203/247520

Appears in Collection: EE-Conference Papers(학술회의논문)

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