박막화 과정을 거친 단결정 실리콘 웨이퍼의 기계적 물성에 크기 및 방향이 미치는 영향A Study on Effects of Size and Direction on Mechanical Properties of Thinning-processed Single Crystal Silicon Wafers
- Publisher
- 대한기계학회
- Issue Date
- 2017-04-06
- Language
- Korean
- Citation
대한기계학회 재료 및 파괴 부문 2017년도 춘계학술대회
- Appears in Collection
- ME-Conference Papers(학술회의논문)
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