Ｉ형 빔으로 구성된 이중 Ｈ구조를 이용한 장행정스테이지

Abstract

본 발명은 반도체 장비 혹은 측정장비의 평면운동을 위해 사용되는 스테이지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 I형 빔으로 구성된 이중 H프레임을 이용하여 시스템의 뒤틀림에 대한 강성을 높이고 높이를 낮게 하였으며, 다자유도 공기베어링을 설치하여 운동의 안정성을 향상시키고, 대칭형 구조를 사용하여 힘의 효율을 증가시키며 열적 변형을 최소화 한 I형 빔으로 구성된 이중 H구조를 이용한 장행정 스테이지에 관한 것이다. 이를 위해 시편이송부를 이송하는 평면 스테이지에 있어서, 제1방향 운동을 위한 공기베어링이 구비되며 위치 측정을 위한 측정거울을 갖는 시편이송부; 상기 시편이송부가 장착되는 복수개의 I형빔으로 이루어지며, 상기 한 쌍의 I형빔은 제1 선형모터의 자석, 공기베어링 및 제2선형모터 코일부가 설치되는 창구조의 프레임; 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 프레임을 이송하기 위해 제2 선형모터의 자석이 배치되고 스토퍼가 설치되는 가이드바; 및 상기 시편이송부, 프레임 및 가이드바가 장착되는 평판인 베이스를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 I형 빔으로 구성된 이중 H구조를 이용한 장행정 스테이지가 제공된다.스테이지, 평면운동, 반도체장비, 측정장비, I형빔, H구조