공초점 자가 간섭 현미경Confocal self-interference microscopy

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본 발명은 공초점 주사 현미경에서 비축 물체에서 반사된 빛을 복굴절 파장판을 이용하여 자가 간섭시켜 측정되는 빛의 강도를 비축 물체가 초점에서 벗어남에 따라 급격히 떨어뜨려 수평 방향 분해능을 향상시키는 공초점 자가 간섭 현미경에 관한 것이다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2005-11-28
Application Date
2003-11-26
Application Number
10-2003-0084339
Registration Date
2005-11-28
Registration Number
10-0533324-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/237018
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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