십자형 구조 조명 선형 패턴을 이용한 구조 조명 공초점 현미경

Abstract

선형(linear)의 광이 서로 수직 교차되는 조명광을 출사하는 광생성부, 상기 광생성부에서 출사된 광을 분리하는 빔스플리터, 상기 빔스플리터를 통과한 서로 수직 교차되는 조명광을 스캐닝 미러를 통해 스캐닝하고, 이를 대물렌즈를 통해 측정대상물에 조사한 후 반사 및 산란되는 광을 다시 전달하는 측정부 및 상기 측정부로부터 반사되는 광을 획득하여 대상물을 측정하는 검출부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 시편 또는 패턴의 회전 없이 한번에 조명하고, 복수개의 스캐닝 미러가 독립적으로 스캐닝함으로써 고속으로 영상을 획득할 수 있는 이점이 있다.