유기 초분자의 자기조립과 자외선 에칭을 이용한나노패턴의 형성방법Method for fabricating a nanopattern usingself-assembly of supramolecules and UV etching
본 발명은 기판(substrate) 상에 유기 초분자 박막을 형성시킨 다음, 열처리에 의해 유기분자들의 자기조립(self-assembly)을 유도하고, 이에 따라 형성된 일정한 유기 초분자 구조에 UV를 조사하여 구멍모양의 나노패턴을 형성하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 나노패턴은 기록소자, 탄소 나노튜브 제조용 주형(template), 바이오 나노어레이, 새로운 나노패턴의 형성을 위한 마스크, 분리용 막의 소재 개발 등에 유용하게 활용될 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2005-10-18
- Application Date
- 2003-06-12
- Application Number
- 10-2003-0037752
- Registration Date
- 2005-10-18
- Registration Number
- 10-0523767-0000
- Appears in Collection
- CBE-Patent(특허)
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