인덕턴스와 커패시턴스가 동시에 변화하는 가변 수동 소자 및 그 제조방법

Abstract

본 발명은 가변 수동 소자에 관한 것이다. 본 발명에 따른 가변 수동 소자는 절연기판, 절연기판상에 형성된 바닥전극부, 바닥전극부상에서 바닥전극부와 대향 이격되도록 형성되고, 바닥전극부와 함께 커패시터를 구성하는 금속층, 금속층상에서 금속층과 대향 이격되도록 형성된 나선형 인덕터 및, 절연기판 및 금속층 사이에 형성되어 금속층이 바닥전극부 및 나선형 인덕터와 이격되도록 지지하고, 온도 변화에 따라 금속층을 절연기판에 대하여 수직방향으로 위치 이동시키는 열 구동부를 포함하며, 금속층이 위치 이동함에 따라 인덕턴스 및 커패시턴스가 동시에 가변되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 단일 소자로서 인덕턴스와 커패시턴스를 동시에 변화시킬 수 있기 때문에 가변 인덕터와 가변 커패시터를 각각 따로 제작하는 방법에 비해 소요면적을 최소화 할 수 있으므로 제작비용을 절감할 수 있다. 또한, 가변 커패시터와 가변 인덕터가 하나의 구동 회로로서 동작하기 때문에 구동 회로를 집적화 할 수 있다.