고속카메라와 연속위상주사 방법을 이용한 진동둔감 간섭계

Abstract

본 발명은 고속카메라와 연속위상주사 방법을 이용한 진동둔감 간섭계에 관한 것으로, 외부에서 발생되는 진동에 의한 영향을 주파수 영역에서 완벽히 고립시킴으로써 측정대상물을 측정하는 간섭계에 있어서, 광을 출사하는 광원부, 상기 광원부에서 출사되는 광을 측정대상물에 조사시키고, 여기서 반사되는 광을 기준광과 측정광으로 분할한 후 이를 다시 간섭시켜 간섭무늬를 생성시키는 광전달부, 상기 광전달부에서 분할된 기준광을 연속적인 위상주사를 통해 주사하는 연속위상주사부 및 상기 광전달부를 통해 조사된 측정광과 상기 연속위상주사부를 통해 조사된 기준광에 의해 생성된 간섭무늬를 획득하는 고속카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 시스템 구성측면이나 해석 알고리즘 측면에서 매우 간소화할 수 있으며, step형태의 위상천이 방법에서 나타나는 비선형오차 및 측정 속도의 문제점을 해소할 수 있다.