다중광 간섭을 이용한 능동형 3차원 멀티스팟 조명장치 및 조명 발생 방법

Abstract

본 발명은 입사광을 발생 및 확대하는 광원부; 광원부에서 발생된 입사광을 복수의 다중광으로 분리하고, 복수의 다중광을 피드백 제어신호에 기초하여 능동적으로 제어하는 입사광 제어부; 및 입사광 제어부에서 입사되는 다중광의 간섭을 이용하여 소정의 형상과 크기의 3차원 멀티스팟 형태의 조명을 생성하는 멀티스팟 생성부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중광 간섭을 이용한 능동형 3차원 멀티스팟 조명장치 및 조명 발생 방법을 구현한바, 다양한 크기와 모양의 3차원 멀티스팟 형태의 조명을 별도의 프리즘 또는 회절격자를 제조하지 않고 생성할 수 있는 효과가 있다. 이로 인해, 다양한 3차원 멀티스팟 조명을 편리하고 빠르게 제공할 수 있는 효과가 있다. 또한, 다양한 크기와 모양의 3차원 멀티스팟 형태의 조명을 조사하여 리소그래피 공정 시 마스크(Mask)를 대체할 수 있는 효과가 있다. 이러한 멀티스팟의 형상은 능동적으로 편리하게 조절이 가능하므로 다양한 마스크를 대신하여 사용할 수 있는 효과가 있다.