3차원 집적 회로를 위한 전류 측정 소자, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 전류 측정 회로Current measuring element for three dimensional integrated circuit, method of manufacturing the same and current measuring circuit including the same
전류 측정 소자는 제1 도전성 패턴 및 적어도 하나의 제2 도전성 패턴을 포함한다. 제1 전도성은 패턴 기판의 제1 면에 형성된다. 적어도 하나의 제2 도전성 패턴은 제1 도전성 패턴 주변에 코일(coil) 구조의 도전 경로가 형성되도록 기판의 제2 면에 위치하는 재배선층(redistribution layer)에 형성된다. 따라서, 전류 측정 소자는 제1 도전성 패턴에 흐르는 입력 전류에 응답하여 코일 구조의 도전 경로 상에 형성되는 유도 전압에 기초하여 입력 전류의 세기를 정밀하게 측정할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2012-07-11
- Application Date
- 2010-12-23
- Application Number
- 10-2010-0133124
- Registration Date
- 2012-07-11
- Registration Number
- 10-1166485-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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