테이프 기판의 박막 형성장치 및 그를 이용한 박막 형성방법APPARATUS FOR FORMING THIN FILM OF TAPE SUBSTRATE AND MANUFACTURE METHOD THE SAME
테이프 기판의 박막 형성장치 및 그를 이용한 박막 형성방법에 대한 발명이 개시된다. 개시된 테이프 기판의 박막 형성장치는, 진공챔버와, 진공챔버 내에 설치되며, 공급릴에서 회수릴로 이송하는 테이프 기판을 감아주기 위해 회전하고, 내측에 가열부재가 구비되는 회전드럼과, 회전드럼에 감긴 테이프 기판의 마주보는 면에 배치되고, 소스가스 공급통로와 반응가스 공급통로가 형성되어 소스가스와 반응가스를 공급하는 가스공급부재와, 가스공급부재를 회전드럼의 회전축과 나란한 방향으로 왕복 운동시키는 왕복구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다,
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2013-03-19
- Application Date
- 2012-03-13
- Application Number
- 10-2012-0025777
- Registration Date
- 2013-03-19
- Registration Number
- 10-1247295-0000
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
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