3차원 금속 구조체의 형성 방법Method for forming 3-Dimensional Metal Structures
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 윤준보 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T12:09:59Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T12:09:59Z | - |
| dc.date.issued | 2006-03-08 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/235487 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 3차원 금속 구조체의 형성 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 자기 정합 단분자층(Self-Assembled Monolayer)을 이용하여 균일하게 금속 시드를 제거할 수 있는 3차원 금속 구조체의 형성 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른, 기판 상에 형성된 3차원 금속 구조체의 형성 방법은, 상기 기판에 3차원 포토레지스트 몰드를 형성하는 단계; 상기 기판에 제1 금속 시드를 증착하는 단계; 상기 제1 금속 시드 상에 자기 정합 단분자층을 증착하는 단계; 상기 자기 정합 단분자층을 선택적으로 제거하는 단계; 상기 자기 정합 단분자층이 제거된 부분의 제1 금속 시드를 제거하는 단계; 상기 자기 정합 단분자층을 모두 제거하는 단계; 및 상기 포토레지스트 몰드에 제1 금속층을 채우는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 자기 정합 단분자층(Self-Assembled Monolayer), 폴리싱(Polishing), 3차원 금속 구조체(3-Dimensional Metal Structures) | - |
| dc.title | 3차원 금속 구조체의 형성 방법 | - |
| dc.title.alternative | Method for forming 3-Dimensional Metal Structures | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 윤준보 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2004-0043720 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0561048-0000 | - |
| dc.date.application | 2004-06-14 | - |
| dc.date.registration | 2006-03-08 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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