패턴 제조 방법 및 패턴 전사 장치 PATTERN FABRICATING METHOD AND PATTERN TRANSFERRING APPARATUS

Cited 0 time in webofscience Cited 0 time in scopus
  • Hit : 59
  • Download : 0
본 발명은 패턴 제조 방법 및 패턴 제조 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 간단한 공정으로 패턴을 반복적, 연속적으로 제조할 수 있는 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 패턴 제조 방법에 의하면, 기판 상에 소수성 코팅층을 형성한 후 레이저 응용 플라즈마를 이용하여 소수성 코팅층을 선택적으로 제거하여 표면 몰드를 형성하는 제1 단계; 표면 몰드 상에, 패턴 물질을 입히고 건조시킨 후 고온 소결시켜 코팅하는 제2 단계; 표면 몰드와 대상 기판을 서로 맞대어 가압하고, 표면 몰드에서 대상 기판 방향으로 또는 대상 기판에서 표면 몰드 방향으로 레이저를 조사하는 것에 의하여 표면 몰드 상의 패턴 물질과 대상 기판이 맞대어진 부위에 발생하는 대상 기판의 점성력에 의하여 패턴 물질이 대상 기판으로 전사되는 제3 단계를 포함한다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2013-01-18
Application Date
2010-10-22
Application Number
10-2010-0103480
Registration Date
2013-01-18
Registration Number
10-1226086-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/235071
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
Files in This Item
There are no files associated with this item.

qr_code

  • mendeley

    citeulike


rss_1.0 rss_2.0 atom_1.0