진동부가 충진을 통한 고종횡비 미세 패턴제작방법(Fabrication Method of High Aspect Ratio Nano/Micro Patterns by Vibration-assisted Filling Process)

Abstract

이 발명의 패턴제작방법은, 몰드의 패턴이 형성된 부위에 액상의 패턴 재료(수지)를 진동을 부가하면서 충진하는 충진단계와, 액상의 패턴 재료가 충진된 몰드를 기판과 압착하는 압착단계와, 충진된 액상의 패턴 재료를 경화시키는 경화단계, 및 경화된 고상의 패턴을 몰드와 이형시키는 이형단계를 포함한다. 이 발명은 몰드를 이용하여 패턴을 형성하는 전사법(transfer method)에서 수지에 진동을 부가하여 수지와 몰드와의 계면에서의 마찰특성을 활성화시켜 효과적으로 수지를 충진시킴으로써 고종횡비의 미세패턴을 제작할 수 있다.