진동부가 충진을 통한 고종횡비 미세 패턴제작방법(Fabrication Method of High Aspect Ratio Nano/Micro Patterns by Vibration-assisted Filling Process) Fabrication Method of High Aspect Ratio Nano/Micro Patterns by Vibration-assisted Filling Process

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이 발명의 패턴제작방법은, 몰드의 패턴이 형성된 부위에 액상의 패턴 재료(수지)를 진동을 부가하면서 충진하는 충진단계와, 액상의 패턴 재료가 충진된 몰드를 기판과 압착하는 압착단계와, 충진된 액상의 패턴 재료를 경화시키는 경화단계, 및 경화된 고상의 패턴을 몰드와 이형시키는 이형단계를 포함한다. 이 발명은 몰드를 이용하여 패턴을 형성하는 전사법(transfer method)에서 수지에 진동을 부가하여 수지와 몰드와의 계면에서의 마찰특성을 활성화시켜 효과적으로 수지를 충진시킴으로써 고종횡비의 미세패턴을 제작할 수 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2010-04-22
Application Date
2008-04-21
Application Number
10-2008-0036558
Registration Date
2010-04-22
Registration Number
10-0955453-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/234829
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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