압저항 소자 및 그 제조방법과 이를 갖는 압저항 방식의 터치 패널PIEZORESISTIVE DEVICE, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME AND PIEZORESISTIVE-TYPE TOUCH PANEL HAVING THE SAME

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본 발명의 일실시예에 의한 압저항 소자의 제조방법은, 폴리머 소재를 엠보싱(Embossing) 방식으로 가공하여 탄성 변형이 가능한 상면을 갖는 폴리머 구조체를 제조하는 단계, 폴리머 구조체의 상면에 탄소나노튜브 용액을 설정된 패턴에 맞춰 도포하는 단계, 폴리머 구조체에 도포된 탄소나노튜브 용액을 건조시켜 폴리머 구조체의 상면에 탄소나노튜브 패턴을 마련하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의한 압저항 소자의 제조방법은 엠보싱 방식과 프린팅 방식을 이용하므로, 종래의 사진식각 방식을 바탕으로 한 반도체 공정이나 MEMS 공정에서 발생하는 폐기물에 의한 환경 문제를 해결할 수 있고, 낮은 제조비용으로 대면적 생산이 가능하다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2011-11-04
Application Date
2010-07-05
Application Number
10-2010-0064210
Registration Date
2011-11-04
Registration Number
10-1082379-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/234728
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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