패턴 전사방법 METHOD FOR TRANSFERRING PATTERN

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본 발명에 따른 패턴 전사방법은, 몰드 표면에, 소정 간격으로 이격되고, 그 내벽이 소정 각도를 가지는 복수의 홈을 형성하여, 홈 사이의 볼록한 영역과 홈의 오목한 영역이 번갈아 형성되는 홈 형성단계, 볼록한 영역 및 오목한 영역 상에 그 위에 형성되는 층이 분리되도록 도와주는 이형층을 형성하는 이형층 형성단계, 이형층 상에 패턴 재료를 증착시킨 패턴 재료층을 형성하는 패턴 재료층 형성단계, 패턴 재료층과 접착제가 코팅된 제1 기판을 서로 맞대어 가압하고, 패턴 재료층과 제1 기판을 서로 떼어내어, 볼록한 영역 상의 이형층 상에 증착된 패턴 재료를 제거하는 패턴 재료 제거단계, 패턴 재료층과 제2 기판을 서로 맞대어 가압하고, 서로 맞대어진 상태에 레이저 광을 조사하여, 오목한 영역 상의 이형층 상에 증착된 패턴 재료를 제2 기판상으로 전사하는 패턴 재료 전사단계를 포함하고, 홈 형성단계는 몰드 표면에 형성된 홈의 내벽 사이의 거리가 몰드 내부로 들어갈수록 짧아지고, 패턴 재료 제거단계는, 패턴 재료층과 접착제가 코팅된 제1 기판을 서로 맞대어 가압하고, 서로 맞대어진 상태에 제1 기판 하부에 위치된 핫 플레이트에 의하여 열을 가한 후, 패턴 재료층과 제1 기판을 서로 떼어내어, 볼록한 영역 상의 이형층 상에 증착된 패턴 재료를 제거하고, 접착제는, 열 경화 폴리머(Heat curable polymer)이다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2013-02-07
Application Date
2009-06-26
Application Number
10-2009-0057443
Registration Date
2013-02-07
Registration Number
10-1233096-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/234543
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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