강유전체 나노도트 소자 및 그 제조방법

Abstract

본 발명은 TiO2 나노도트 배열 박막과 PbO 증기를 반응시켜 생성한 PbTiO3 나노도트를 이용한 강유전체 나노도트 소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 절연물질로 이루어진 기판, 기판 상면에 형성된 하부 전극, 하부 전극 상면의 일부 영역에 구 형상으로 형성된 나노도트, 나노도트 표면에 형성된 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.나아가, 구 형상으로 형성된 나노도트는 PbTiO3로 이루어지는 것을 특징으로 하며, Pb(ZrTi)TiO3 또는 BiTiO3로 형성할 수 있다. 이 나노도트는 하부 전극 상면에 점 접촉하는 것을 특징으로 한다.나아가, 본 발명에 따른 강유전체 나노도트 소자의 제조방법은 기판을 준비하는 단계, 기판 상면에 하부 전극을 형성하는 단계, 공중합체(Copolymer) 용액과 졸겔(Sol-gel) 용액을 혼합해 솔루션 용액을 형성하는 단계, 솔루션 용액을 하부 전극 상면에 도포하고, 교질 입자 박막을 형성하는 단계, 교질 입자 박막이 증착된 기판을 건조하고, 템플레이트를 제거하여, TiO2 나노도트를 형성하는 단계, 스퍼터링(Sputtering) 공정으로 템플레이가 제거된 TiO2 나노도트 배열 박막에서 PbTiO3 나노도트를 형성하는 단계 및 PbTiO3 나노도트 상면에 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.