다중 증발원 및 이를 이용한 박막 형성 장치MULTI-SOURCE AND APPARATUS FOR DEPOSITING THIN FILMS USING THE SAME
본 발명은 다중 증발원 및 이를 이용한 박막 형성 장치에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 2개 이상의 증발물질을 기화시키고 기판에 분사하여 증착시키도록 구성되어, 증착 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 다중 증발원 및 이를 이용한 박막 형성 장치를 제공하는 것이다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2013-11-06
- Application Date
- 2011-10-31
- Application Number
- 10-2011-0112097
- Registration Date
- 2013-11-06
- Registration Number
- 10-1328589-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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