플라즈마 처리에 의한 리튬전이금속 산화물 박막의 결정화방법

Abstract

본 발명은 박막형태의 리튬2차전지의 전극용 리튬전이금속 산화물 박막의 결정성과 전기화학적 특성 향상방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 마이크로파 또는 라디오 주파수파에 의해 유기된 산소 또는 불활성 기체 플라즈마에 리튬전이금속 산화물 박막을 반응시킴으로써 결정성이 향상된 리튬전이금속 산화물 박막을 얻는 방법에 관한 것이다. 본 발명에서 리튬 박막전지의 전극용 리튬전이금속 산화물 박막은 두께 약 10μm 이하의 박막형태로 LiCoO2, LiNiO2, LiMn2O4, V2O5, V6O13 , SnO2, TiS2, LiAl, LiGaO2, LiTiO2, Li3PO4 중에서 선택된 어느 하나이거나 또는 이들을 혼합한 산화물을 실리콘, 알루미나 등의 기판물질 위에 증착한 것으로서 기존의 노열처리방법으로는 상기 산화물 박막을 결정화시키기 위하여 750℃ 이상의 고온에서 수시간 내지 수십시간이 필요하던 문제점을 상기 플라즈마 처리법을 사용하여 400℃ 이하의 저온에서 20분 이내의 시간으로 단축할 수 있으며 종래 유리기판 또는 알루미늄 등의 융점이 낮은 물질을 기판으로 사용할 수 없던 문제점을 해결할 수 있다.