리가공정을 이용한 3차원 미세구조물 제조장치 및 그제조방법FABRICATION APPARATUS OF 3D MICRO-STRUCTURE USING LIGAPROCESS AND METHOD THEREOF
본 발명은 LIGA공정을 이용한 3차원 미세구조물 제조장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 X선 투광기판상에 형성된 X선 흡수부를 구비하는 복수의 X선 마스크부가 형성된 X선 마스크에 복수의 3차원 X선 감광성 폴리머의 각 면을 정렬시켜 X선 노광함으로서 복잡한 3차원 구조물을 복수로 동시에 제작하기 위한 LIGA공정을 이용한 3차원 미세구조물 제조장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2006-12-07
- Application Date
- 2004-04-26
- Application Number
- 10-2004-0028695
- Registration Date
- 2006-12-07
- Registration Number
- 10-0657422-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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