건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법 및그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트METHOD FOR MANUFACTURING METAL MOLD OF PRISM USING DRYFILM RESIST AND THE DRY FILM RESIST USED FOR THE METHOD

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본 발명은 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법 및 그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트에 관한 것으로서, 경사면의 표면조도 특성이 다른 재료에 비하여 상대적으로 좋은 건식필름 레지스트를 이용하여 제조되는 프리즘의 표면을 매끄럽게 하고 프리즘의 제조 오차를 줄이기 위한 V형의 홈을 갖는 프리즘의 금형 제조 방법 및 그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트를 개시한다. 본 발명에 따른 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법은 길게 형성된 광흡수부를 갖는 마스크를 건식필름 레지스트에 정렬하는 단계와, 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제1경사각으로 입사하는 자외선을 제1 경사노광하는 단계와, 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 단계와, 2회의 경사노광된 건식필름 레지스트를 현상하는 단계와, 현상된 건식필름 레지스트 상에 금속재료를 전기도금하여 금속금형을 제조하는 단계를 포함한다. 그에 따라, 본 발명은 프리즘시트의 경사면을 균일하게 할 수 있고, 마스크와 건식필름 레지스트 사이의 간극을 최소화함으로써 제조하고자 하는 프리즘의 금형의 치수 오차를 최소화할 수 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2006-08-28
Application Date
2005-04-04
Application Number
10-2005-0028129
Registration Date
2006-08-28
Registration Number
10-0619477-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/234093
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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