플래쉬 램프를 이용한 그래핀 제조장치, 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 그래핀 반도체 소자

Abstract

플래쉬 램프를 이용한 그래핀 제조방법, 제조장치 및 이를 이용하여 제조된 그래핀이 제공된다. 본 발명에 따른 그래핀 그래핀이 성장되어야 하는 기판이 내부에 구비되는 챔버;상기 기판의 일 측면으로 반응가스가 유입되는 유입부; 상기 챔버에 진공을 인가하는 위한 진공부; 및 상기 챔버 상단에 구비되어, 상기 기판에 빛을 조사하기 위한 플래쉬 램프를 포함하며 여기에서 상기 기판은 롤투롤(roll to roll) 이송수단에 의하여 이동되는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 그래핀 제조방법 및 장치는 대면적으로 조사되는 플래쉬 램프의 열을 이용, 그래핀 성장가스를 반응시켜 기판 상에 그래핀을 성장시킨다. 또한 롤투롤 방식으로 플렉서블 기판을 이송시켜, 그래핀을 성장시키고, 또한 반응가스만을 달리 구성하여, 그래핀의 변형없이도 그래핀 반도체 소자를 대량으로 제조할 수 있다.