액정 상 및 결함 구조를 이용한 마이크로 또는 나노 크기 패턴을 형성하는 방법 Method for Fabricating Micro- or Nano-Sized Patterns Using Liquid Crystal Phase and Defect Structure Thereof

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dc.contributor.author정희태ko
dc.contributor.author김윤호ko
dc.contributor.author정현수ko
dc.contributor.author윤동기ko
dc.date.accessioned2017-12-20T11:25:40Z-
dc.date.available2017-12-20T11:25:40Z-
dc.date.issued2012-09-27-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/234014-
dc.description.abstract본 발명은 액정(liquid crystal)의 다양한 상(phase) 또는 결함(defect) 구조를 이용하여 마이크로 또는 나노 크기 패턴을 형성하는 방법 및 이러한 방법으로 제조된 마이크로렌즈 어레이(microlens arrays)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 자기조립 가능 액정의 상 또는 결함을 규칙적인 구조로 형성시키고, 액정 배향에 따른 굴절률 변화 또는 표면 구조를 이용하여 광학 또는 연성 리소그래피를 위한 마스크로 활용할 수 있는 패턴 형성 방법 및 마이크로렌즈 어레이에 관한 것이다. 본 발명에 따른, 액정분자의 상 또는 결함 구조를 이용한 패턴 형성 방법, 마이크로렌즈 어레이의 제조방법 및 연성 리소그래피 패턴 형성 방법은, 액정의 높은 유동성(mobility) 때문에 기존의 방식에 비하여 매우 빠르게 패턴을 형성하는 것이 가능하며, 제작공정이 간단하고 비용이 절감되는 장점이 있다. 한번 만들어진 액정 패턴은 반영구적으로 사용할 수 있다. 또한, 액정의 상 또는 결함을 외부 전기장 또는 자기장이나 액정분자층의 높이 등으로 간단하게 조절할 수 있기 때문에, 새로운 형태의 패턴으로 손쉽게 변화, 제어할 수 있는 장점이 있다. 또한, 직접적인 관찰이 매우 어려운 액정의 내부구조 및 배향에 대한 정보를 전사시킴으로써, 그 내부구조 해석에 대한 새로운 기법을 제시할 수 있다.-
dc.title액정 상 및 결함 구조를 이용한 마이크로 또는 나노 크기 패턴을 형성하는 방법-
dc.title.alternativeMethod for Fabricating Micro- or Nano-Sized Patterns Using Liquid Crystal Phase and Defect Structure Thereof-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor정희태-
dc.contributor.localauthor윤동기-
dc.contributor.nonIdAuthor김윤호-
dc.contributor.nonIdAuthor정현수-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2010-0097903-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-1188434-0000-
dc.date.application2010-10-07-
dc.date.registration2012-09-27-
dc.publisher.countryKO-
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