가변 광학 필터 Tunable optical filter

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본 발명은 한 쌍의 반사체들로 구성된 패브리-페로 캐버티의 한 반사체를 로렌츠 힘 또는 압전박막에 의한 구동력으로 변위시켜 투과하는 빛의 파장을 가변시킴으로써 구현되는 가변 광학 필터에 관한 것이다. 캐버티를 이루는 한 반사체는 고정되어 있고 다른 하나의 반사체는 스프링 구조에 연결된 지지체 상에 위치하며, 스프링 구조는 자신에 도선 또는 압전박막과 전극을 포함한다. 도선에 전류를 흘리면서 외부 자장을 인가하면 도선에 힘이 가해지며, 전극에 전압을 가해도 압전박막을 통해 힘이 가해진다. 이에 의해 스프링 구조가 변형되어 반사체들 사이의 간격이 변화함으로써, 필터를 통과하는 빛의 파장이 변화한다.로렌츠 힘, 가변 광학 필터, 패브리-페로, 반사체, 스프링, MEMS, 압전박막
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2003-12-02
Application Date
2001-12-21
Application Number
10-2001-0082553
Registration Date
2003-12-02
Registration Number
10-0411328-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/233925
Appears in Collection
EE-Patent(특허)RIMS Patents
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